在超薄铜箔的生产过程中，退火是消除应力、提高导电率的关键工序。然而，对于0.015mm级别的超薄铜箔，尤其是大卷径卷材，现有技术面临巨大挑战：

      1.层间粘结： 铜箔极薄，层间贴合紧密，高温下极易发生扩散粘连。

      2.排气困难： 清洗残留的水分和轧制油在高温下气化，若无法及时排出，会形成“水渍斑”或“油斑”，甚至导致铜箔起鼓气泡 。

      3.内层氧化： 还原性气体难以渗透至卷心深处，导致外层光亮而内层氧化铜箔延时氧化：铜箔极薄，层间贴合紧密，层间的水气很难排出，开炉合格，放置5天，铜箔中间红带（水气腐蚀）

    提供一种能够彻底解决超薄铜箔层间粘结、内层氧化及表面斑点问题的退火方法。

技术方案如下：

（1）物理结构的创新： 采用“强制内压”导流结构。传统的退火管路气流容易从两端短路逃逸。本发明强制要求内管打孔，外管（卷芯）仅中间300mm打孔，且两管之间两端必须“死死堵住”。这种结构迫使高压氢气必须穿透卷心深处最致密的区域，形成径向穿透流 。

（2）分段式“排污”工艺：

• 85℃ 生死关（闪蒸排水）： 传统工艺直接升温易导致水分沸腾。本发明设定85℃恒温平台，配合-102.8 kPa强真空，在水沸腾前将其以低温蒸汽形式温和抽走，避免体积膨胀伤膜 。
• 130℃ 深呼吸（排油松土）： 在油气挥发剧烈的130℃温区，利用微正压（0.02-0.04 MPa）与真空的交替操作，松动层间缝隙，排出深层乳化油气

（3）230℃ 暴力渗透与高压焖烧： 针对卷心难还原的问题，本发明在230℃退火段采用“30:30”脉冲循环。利用0.04-0.08 MPa的快速注气冲击力（“暴力注气”）打开层间，随后利用0.1 MPa的高压环境（炉体耐压安全极限内）进行4-5小时的“焖烧”渗透，确保氢气还原反应彻底 。

4. 具体实施方式

实施例1： 一种0.015mm铜箔的退火处理过程：

1. 装炉准备： 检查管路，确保内管打孔，外管两端50mm无孔，中间300mm打孔。使用耐高温材料封堵内外管两端夹层。铜箔表面包裹410mm全宽玻璃布，保证无折痕 。
2. 升温排水： 升温至85℃，启动真空泵至-102.8 kPa保持30分钟。充入混合气补热30分钟后，再次抽真空30分钟。经检测，1分钟内压力下降<10 PA，确认水分排净 。
3. 排油： 升温至130℃，进行“抽真空-充气渗透”循环，充气压力控制在0.02-0.04 MPa 。
4. 高温退火： 升温至230℃。执行3次循环：抽真空30分钟 -> 快速充气至0.08 MPa (约5分钟) -> 保压30分钟。最后充气至0.1 MPa，保压5小时 。
5. 冷却出炉： 开启风机，始终维持炉内0.02-0.025 MPa微正压，严禁负压降温。当卷心温度<60℃时，出炉 。